低热膨胀玻璃材料广泛应用于光学、半导体设备和激光系统等高端行业,在这些行业中,温度波动下的尺寸稳定性至关重要。
其中,Zerodur、ULE、ClearCeram、硼硅酸盐玻璃 (BF33) 和熔融石英这五种材料是精密工程中最常用的低热膨胀材料,也是我们加工的主要材料。

Zerodur®是由肖特公司开发的玻璃陶瓷材料,其热膨胀系数接近于零。它有多种热膨胀系数等级可供选择,以满足不同的精度要求。
典型应用:
激光陀螺仪、光谱仪和半导体光刻元件。
ULE® 由康宁公司生产,由于其热膨胀系数同样很低,因此经常被直接与 Zerodur® 进行比较。
它具有优异的光学均匀性和尺寸稳定性,使其非常适合用于精密光学系统。
典型应用:
天文望远镜、激光谐振器和超稳定光学结构。
ClearCeram® 是由大原株式会社开发的一种低热膨胀系数玻璃陶瓷材料。通过可控结晶,它实现了接近于零的热膨胀系数,同时还具有更高的机械强度和抗热冲击性
典型应用:
精密光学元件、计量设备和半导体相关结构。
硼硅酸盐玻璃(BF33)是一种广泛使用的工业玻璃材料,具有相对较低的热膨胀系数、优异的耐化学性以及在可见光范围内较高的光学透过率。
典型应用:
半导体工艺窗口、检测端口和实验室设备。
熔融石英是一种高纯度二氧化硅 (SiO₂) 玻璃,以其低热膨胀系数和从深紫外 (UV) 到近红外 (NIR) 波长的出色光学透射率而闻名。
典型应用:
激光系统、紫外光学器件、光子元件和高性能半导体窗口。
| 材料 | Typical CTE (α, ×10⁻⁶ /K) | 热稳定性水平 |
|---|---|---|
| Zerodur(微晶玻璃) | ~0 ± 0.02 | 超低 |
| ULE(超低膨胀玻璃) | ~0 ± 0.03 | 超低 |
| ClearCeram(透明微晶玻璃) | ~0 ± 0.1 | 超低 |
| Borosilicate (硼硅酸盐玻璃) | ≈ 3.3 | 中等 |
| 熔融石英 | ≈ 0.5 | 较低 |
需要超高尺寸稳定性(纳米级/亚微米级)?
→ ULE® 超低膨胀玻璃 或 Zerodur® 微晶玻璃
需要低热膨胀,同时具备更高的机械强度?
→ ClearCeram® 微晶玻璃 或 Zerodur® 微晶玻璃
需要优异的耐化学腐蚀性,并满足中等热性能要求?
→ 硼硅玻璃(BF33)
需要优异的紫外透过率和高激光耐受性?
→ 熔融石英
预算有限,且对热稳定性要求不高?
→ BF33 或其他高性价比材料
在钧杰,我们专注于低热膨胀材料的超精密加工,能够制造曲面、复杂结构、轻量化设计和蜂窝状结构等复杂几何形状。凭借先进的加工能力,我们可实现高达λ/20的光学平面度,保持关键部件的严格公差,并提供可选的光学镀膜服务,以满足严苛的应用需求。如果您从事精密光学、半导体设备或激光系统方面的工作,我们随时准备以可靠的高性能解决方案,满足您在材料选择和加工方面的需求。
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