zerodur
超低热膨胀系数尺寸稳定性

肖特微晶玻璃

Zerodur 玻璃陶瓷具有超低的热膨胀系数,即使在温度波动的情况下也能保持优异的尺寸稳定性,机械和热性能的变化也极小,适用于轻量化加工,常用于高精度应用。

加工能力

Zerodur玻璃陶瓷常用于光学元件和其他轻量化、结构复杂的部件。我们提供Zerodur部件的精密加工服务,支持定制形状和曲面加工。我们先进的制造能力使我们能够生产满足高端应用严苛要求的高精度部件。

Aluminum-nitride-ceramics
公差 ±1um
平面度 1/20λ
粗糙度 Ra0.03μm
微孔 0.1mm
轻量化 70%
最大尺寸 500*500mm

优势

  • 使用标准金属加工工具即可轻松加工——无需后续烧结
  • 超高精度:高达 0.0005 英寸(0.013 毫米)
  • 无孔隙,适用于超高真空环境:零释气,是真空系统的理想选择
  • 高温稳定性高:可在高达 1000℃ 的温度下连续使用
  • 优良绝缘体:导热系数低
  • 耐化学腐蚀:能耐受酸、碱和溶剂
  • 高强度刚性:高温下无蠕变或变形

特性

Zerodur是由肖特公司(SCHOTT AG)开发的超低热膨胀系数玻璃陶瓷,具有卓越的尺寸稳定性和高精度性能。其主要材料特性如下表所示。

物理特性 ZERODUR® ZERODUR® K20
密度 ρ [g/cm³] 2.53 2.53
泊松比 0.24 0.25
热膨胀系数 (CTE) 25°C – 600°C 112 × 10⁻⁷/°C 62 × 10⁻⁷/°F
努氏硬度 HK 0.1/20 (ISO9385) 620 620
折射率 nd 1.5424
阿贝数 vd 56.1
20°C 时的热导率 λ [W/(m·K)] 1.46 1.63
20°C 时的热扩散系数 [10⁻⁶ m²/s] 0.72
20°C 时的比热容 cp [J/(g·K)] 0.8 0.9
20°C 时的杨氏模量 E [GPa](平均值) 90.3 84.7
内透射率 Ti 在 580 nm / 5 mm 厚度 0.95
内透射率 Ti 在 580 nm / 10 mm 厚度 0.9
应力光学系数 K 在 λ = 589.3 nm 处 [10⁻⁶ MPa⁻¹] 3
20°C 时的电阻率 [Ω·cm] 2.6 × 10¹³
Tk100 [°C], ρ = 10⁸ [Ω·cm] 时的温度 178
化学特性 ZERODUR® ZERODUR® K20
耐着色性 Class 0
耐气候性 Class 1
耐酸等级 (ISO 8424) 1
耐碱等级 (ISO 10629) 1
耐水解等级 (ISO 719) HGB 1
20°C 时的氦气渗透率 [Atoms/(cm·s·bar)] 1.6 × 10⁶
100°C 时的氦气渗透率 [Atoms/(cm·s·bar)] 5.0 × 10⁷
200°C 时的氦气渗透率 [Atoms/(cm·s·bar)] 7.2 × 10⁸
热膨胀 ZERODUR®
热膨胀系数等级 CTE (0°C–50°C)*
ZERODUR® 膨胀等级 2 0 ± 0.100 × 10⁻⁶/K
ZERODUR® 膨胀等级 1 0 ± 0.050 × 10⁻⁶/K
ZERODUR® 膨胀等级 0 0 ± 0.020 × 10⁻⁶/K
ZERODUR®特殊0级膨胀 0 ± 0.010 × 10⁻⁶/K
ZERODUR®极度0级膨胀 0 ± 0.007 × 10⁻⁶/K
ZERODUR® 定制 定制值 ± 0.020 × 10⁻⁶/K (根据要求可达 +0.010 ~ +0.010 × 10⁻⁶/K)

对我们的肖特微晶玻璃解决方案感兴趣吗?

Zerodur application

应用

  • 激光陀螺仪反射镜、支架和组件
  • 干涉仪、光学平台和长度测量系统
  • 光谱仪光学元件
  • 半导体光刻部件
  • 晶圆步进机组件
  • 机械激光谐振器部件

案例

观看我们关于肖特微晶玻璃五轴加工的视频

常见问题解答

还有其他低膨胀系数的玻璃材料吗?

当然,除了肖特微晶玻璃 和 ULE 之外,您还可以考虑其他常见的低膨胀玻璃,例如熔融石英、Clearceram、BF33 和其他材料。

你们能提供哪种肖特微晶玻璃的热膨胀系数?

钧杰陶瓷提供 Zerodur 材料的加工服务,其热膨胀系数范围从膨胀等级 0 到膨胀等级 0 EXTREME,可根据您的具体需求进行选择。

如何选择肖特微晶玻璃和 ULE?

肖特微晶玻璃和 ULE 都是成本相对较高的材料,其热膨胀系数 (CTE) 接近于零。肖特微晶玻璃提供多种可调节的 CTE 等级,但它是不透明的,因此更适合用于结构部件。相比之下,ULE 具有更均匀的 CTE 且完全透明,使其成为光学应用的理想选择。

你们是否支持肖特微晶玻璃组件的原型制作和中小批量加工?

是的。钧杰陶瓷为肖特微晶玻璃提供精密加工服务,支持快速原型制作和中小批量生产。我们的团队确保产品质量稳定、交货迅速,并提供工程支持,帮助您高效地从原型制作过渡到批量生产。

肖特微晶玻璃是否适用于轻量化加工?

肖特微晶玻璃非常适合轻量化零件加工,尤其适用于对尺寸稳定性要求极高的应用。钧杰陶瓷能够加工复杂的轻量化结构,包括深腔和蜂窝状设计,同时保持严格的公差和结构完整性。

Macor is a machinable glass-ceramic made from fluorophlogopite mica crystals embedded in a borosilicate glass matrix. This composition gives it a rare
combination of metal-like machinability, excellent electrical insulation, low thermal conductivity, and stability up to 1000°C (no load) while maintaining very tight tolerances.