Automation-Sector-—-Advanced-Ceramics
末端执行器导轨真空卡盘

自动化

陶瓷和高纯玻璃因其稳定性、绝缘性和高精度而被广泛应用于科学研究。它们是激光器、光学器件、真空系统和各种实验室仪器的理想组件材料。

陶瓷在自动化系统中的应用

先进陶瓷在现代自动化设备中日益重要,其精度、耐久性和环境稳定性直接影响系统性能和生产效率。

与金属和塑料相比,工程陶瓷具有更优异的耐磨性、电绝缘性、热稳定性和化学惰性,使其成为半导体、精密制造和高温系统等严苛自动化环境的理想选择。

主要应用

陶瓷材料广泛应用于自动化系统,在各种组件中均表现出卓越的性能——从高精度定位系统和线性导轨到半导体晶圆搬运臂、真空吸盘以及泵和阀门等流体处理组件。

Automation
  • 高精度定位系统、线性导轨
  • 晶圆搬运臂、真空吸盘
  • 医用泵系统
  • 半导体腔体结构
  • 陶瓷衬套

~99%

在自动化系统中采用先进陶瓷材料,可直接提高生产良率和运行效率。

相关材料

We have supplied high-precision Macor and Shapal-HI-M ceramic holders and fixtures for scientific research projects at leading institutions such as the National University of Singapore and the University of Maryland, supporting demanding applications in vacuum, optical, and advanced research systems.

能力

Our customers generate approximately 25% of the electricity in the world today using GE Vernova’s installed base of technologies.

Services

We have supplied high-precision Macor and Shapal-HI-M ceramic holders and fixtures for scientific research projects at leading institutions such as the National University of Singapore and the University of Maryland, supporting demanding applications in vacuum, optical, and advanced research systems.

加工能力 MACOR 氮化铝 氧化铝 碳化硅 氧化锆 氮化硅 SHAPAL Hi-M
平面度 0.002mm 0.001mm 0.001mm 0.001mm 0.001mm 0.001mm 0.001mm
同轴度 0.005mm 0.005mm 0.005mm 0.005mm 0.005mm 0.005mm 0.005mm
圆柱度 0.001mm 0.001mm 0.001mm 0.001mm 0.001mm 0.001mm 0.001mm
平行度 0.001mm 0.001mm 0.001mm 0.001mm 0.001mm 0.001mm 0.001mm
最小壁厚 0.05 0.1 0.1 0.2 0.1 0.4 0.1
最小孔径 0.05 0.1 0.1 0.1 0.1 0.3 0.1
最小槽宽 0.2 0.2 0.2 0.5 0.5 1.0 0.2
最小螺纹  M1.2 M1.6 M1.6 M1.6 M1.6 M2.0 M1.2
粗糙度 Ra0.03 μm Ra0.03 μm Ra0.02 μm Ra0.005 μm Ra0.01 μm Ra0.005 μm Ra0.04 μm
喷砂 3.0 3.0 3.0 2.0 2 2 3
加工能力 肖特微晶玻璃 其他玻璃
平面度 1/20 λ 0.001mm
同轴度 0.005mm 0.005mm
圆柱度 0.001mm 0.001mm
平行度 0.001mm 0.001mm
最小壁厚 0.2 0.2
最小孔径 0.1 0.1
最小槽宽 0.3 0.2
最小内螺纹 M2.0 M2.0
粗糙度 Ra0.005 μm Ra0.002 μm
喷砂 3 3

Disclaimer: The values presented are mean and typical of those resulted from test samples